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沉積態(tài)合金組織的形貌及選區(qū)電子衍射圖

 圖5一13(a)是沉積態(tài)合金組織的形貌及選區(qū)電子衍射圖。這時(shí)，合金的形貌沒有任何特征，相應(yīng)的衍射圖為一暈環(huán)。這表明薄膜的結(jié)構(gòu)為非晶態(tài)的，其結(jié)構(gòu)有序的范圍不超過幾個(gè)原子間距。但這還不能確定薄膜的結(jié)構(gòu)是完全意義上的非晶態(tài)還是所謂的微晶結(jié)構(gòu).